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EBARA荏原-干式真空泵-罗茨干泵 ESR-ESA-EV-S系列

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详细说明

    无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）太阳能光伏电池片制造领域的PE-CVD工艺的多晶硅制备工艺中；

2）触摸屏制造领域的镀膜工艺；

3）液晶面板制造的成膜，刻蚀等工艺；

4）建筑以及其他玻璃镀膜工艺；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

 
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